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EDI又稱為電去離子法，是目前比較先進的生產超純水的方法，原水先經過雙極反滲透處理後，水質中雜質的去除率在99%以上，但要想製造出超純水，除去溶解在水中的微量元素和CO2等雜質，需要通過EDI進一步淨化處理，超純水電導率≤0.1μS/cm，特點是邊再生邊運行，不用停機就可再生。
另外一種生產超純水的方法是陰陽離子交換樹脂混床，通過陽離子樹脂吸收水中的陽離子，陰離子樹脂吸收水中的陰離子，對反滲透處理後的水進一步處理，效果沒有EDI好，並且要經常再生，在再生階段會造成大量的酸堿浪費以及汙染，操作麻煩，但是投資低一些。
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